একটি ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপের প্রধান উপাদান হল:
ইলেক্ট্রন উত্স: একটি ক্যাথোড যা বিনামূল্যে ইলেকট্রন প্রকাশ করে এবং একটি রিং-আকৃতির অ্যানোড যা ইলেকট্রনকে ত্বরান্বিত করে। ক্যাথোড এবং অ্যানোডের মধ্যে ভোল্টেজের পার্থক্য অবশ্যই খুব বেশি হতে হবে, সাধারণত কয়েক হাজার থেকে 3 মিলিয়ন ভোল্টের মধ্যে।
ইলেক্ট্রন: ইলেকট্রন ফোকাস করতে ব্যবহৃত হয়। সাধারণত একটি চৌম্বক লেন্স ব্যবহার করা হয়, কখনও কখনও একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক লেন্স ব্যবহার করা হয়। একটি ইলেক্ট্রন লেন্স একটি অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপে একটি অপটিক্যাল লেন্সের মতো একইভাবে কাজ করে। অপটিক্যাল লেন্সের ফোকাস স্থির থাকে, যখন ইলেক্ট্রন লেন্সের ফোকাস সামঞ্জস্য করা যায়, তাই ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপে অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপের মতো চলমান লেন্স সিস্টেম থাকে না।
ভ্যাকুয়াম ইউনিট: অণুবীক্ষণ যন্ত্রের ভিতরে একটি ভ্যাকুয়াম নিশ্চিত করতে ভ্যাকুয়াম ইউনিট ব্যবহার করা হয় যাতে ইলেকট্রনগুলি তাদের পথে শোষিত বা বিচ্যুত না হয়।
নমুনা ধারক: নমুনা নমুনা ধারক মধ্যে স্থিতিশীল করা যেতে পারে. এছাড়াও প্রায়শই এমন ডিভাইস রয়েছে যা নমুনা পরিবর্তন করতে ব্যবহার করা যেতে পারে (যেমন সরানো, ঘোরানো, তাপ, শীতল, প্রসারিত ইত্যাদি)।
ডিটেক্টর: ইলেকট্রন থেকে সংকেত বা গৌণ সংকেত সংগ্রহ করতে ব্যবহৃত হয়। প্রকারগুলি ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি ব্যবহার করে
মাইক্রোস্কোপ (TransmissionElectronMicroscopyTEM) এর মাধ্যমে একটি নমুনার সরাসরি অভিক্ষেপ পাওয়া সম্ভব। এই ধরণের মাইক্রোস্কোপে ইলেকট্রন নমুনার মধ্য দিয়ে যায়, তাই নমুনাটি অবশ্যই খুব পাতলা হতে হবে। নমুনা তৈরি করা পরমাণুর পারমাণবিক ওজন, ইলেকট্রনগুলি যে ভোল্টেজে ত্বরান্বিত হয় এবং পছন্দসই রেজোলিউশন নমুনার পুরুত্ব নির্ধারণ করে। নমুনার পুরুত্ব কয়েক ন্যানোমিটার থেকে কয়েক মাইক্রন পর্যন্ত পরিবর্তিত হতে পারে। পারমাণবিক ওজন যত বেশি এবং ভোল্টেজ যত কম হবে নমুনা তত পাতলা হতে হবে।
অবজেক্টিভ লেন্সের লেন্স সিস্টেম পরিবর্তন করে কেউ সরাসরি অবজেক্টিভ লেন্সের ফোকাল পয়েন্টে ইমেজ ম্যাগনিফাই করতে পারে। এটি একজনকে একটি ইলেক্ট্রন বিচ্ছুরণ চিত্র পেতে দেয়।
বিচ্ছুরণ চিত্র। এই চিত্রটি ব্যবহার করে, নমুনার স্ফটিক গঠন বিশ্লেষণ করা যেতে পারে।
এনার্জি ফিল্টারড ট্রান্সমিশন ইলেকট্রন মাইক্রোস্কোপি (EFTEM) এ নমুনার মধ্য দিয়ে যাওয়ার সময় ইলেকট্রনগুলির গতির পরিবর্তন পরিমাপ করে। এটি থেকে নমুনার রাসায়নিক গঠন অনুমান করা সম্ভব, যেমন নমুনার মধ্যে রাসায়নিক উপাদানগুলির বিতরণ।
