ডুয়াল বিম মাইক্রোস্কোপিতে ব্যবহৃত যন্ত্রগুলি প্রাথমিকভাবে পৃষ্ঠের রুক্ষতা পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়। এটি স্বচ্ছ এবং স্বচ্ছ ওভারলেগুলির বেধ পরিমাপ করতেও ব্যবহার করা যেতে পারে, বিশেষ করে অ্যালুমিনিয়ামের অ্যানোডাইজড ফিল্ম।
যন্ত্রটি ওভারলে পৃষ্ঠের উপর 45 ডিগ্রি কোণে একটি রশ্মিকে আলোকিত করে কাজ করে এবং রশ্মির অংশটি ওভারলে পৃষ্ঠ থেকে প্রতিফলিত হয়। আরেকটি অংশ কভার ভেদ করে এবং কভার-সাবস্ট্রেট ইন্টারফেস থেকে ফিরে প্রতিফলিত হয়। মাইক্রোস্কোপ আইপিস থেকে দুটি পৃথক চিত্র দেখা যায়, দূরত্বটি ওভারলে বেধের সমানুপাতিক এবং দূরত্বটি স্কেল কন্ট্রোল নব সামঞ্জস্য করে পরিমাপ করা যেতে পারে।
এই পদ্ধতিটি কেবলমাত্র তখনই ব্যবহার করা যেতে পারে যখন পর্যাপ্ত আলো অনুবীক্ষণ যন্ত্রে একটি পরিষ্কার চিত্র পাওয়ার জন্য আবরণ-সাবস্ট্রেট ইন্টারফেসে প্রতিফলিত হয়।
স্বচ্ছ বা স্বচ্ছ ওভারলে, যেমন অ্যানোডাইজড ফিল্মগুলির জন্য, পদ্ধতিটি ধ্বংসাত্মক। অস্বচ্ছ কভার স্তরের পুরুত্ব পরিমাপ করার জন্য, কভার স্তরটির একটি ছোট টুকরো অপসারণ করতে হবে, যাতে কভার স্তরের পৃষ্ঠ এবং স্তরের মধ্যে একটি ধাপ যা আলোক রশ্মিকে প্রতিসরণ করতে পারে তা তৈরি হয়, তাই পরম মান কভার স্তরের বেধ পরিমাপ করা যেতে পারে। এই ক্ষেত্রে, পদ্ধতিটি একটি ধ্বংসাত্মক পরীক্ষার পদ্ধতি।
দুই-বিম মাইক্রোস্কোপির পরিমাপের ত্রুটি সাধারণত 10 শতাংশের কম হয়।
