স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপের নীতি ও প্রয়োগ
অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপি এবং ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপির সাথে তুলনা করে, স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপির নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:
（1） 120mm × 80mm × 50mm পর্যন্ত নমুনার আকার সহ নমুনার পৃষ্ঠের গঠন সরাসরি পর্যবেক্ষণ করতে সক্ষম৷
(2) নমুনা তৈরির প্রক্রিয়াটি সহজ এবং পাতলা স্লাইসগুলিতে কাটার প্রয়োজন নেই।
（3） নমুনাটি নমুনা চেম্বারে তিনটি মাত্রায় অনুবাদ এবং ঘোরানো যেতে পারে, তাই এটি বিভিন্ন কোণ থেকে পর্যবেক্ষণ করা যেতে পারে।
（4） ক্ষেত্রের গভীরতা বড়, এবং চিত্রটি ত্রিমাত্রিক অর্থে সমৃদ্ধ। স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপির ক্ষেত্রের গভীরতা অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপির চেয়ে কয়েকশ গুণ বড় এবং ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপির চেয়ে কয়েক দশগুণ বড়।
（5） চিত্রের বিবর্ধন পরিসর প্রশস্ত, এবং রেজোলিউশনও তুলনামূলকভাবে বেশি। এটি দশ থেকে কয়েক হাজার বার পর্যন্ত বিবর্ধিত করা যেতে পারে, এবং এটি মূলত একটি বিবর্ধক গ্লাস, অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপ থেকে একটি ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ পর্যন্ত পরিবর্ধন পরিসর অন্তর্ভুক্ত করে। রেজোলিউশনটি অপটিক্যাল মাইক্রোস্কোপি এবং ট্রান্সমিশন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপির মধ্যে, 3nm পর্যন্ত পৌঁছায়।
（6） ইলেক্ট্রন বিমের দ্বারা নমুনার ক্ষতি এবং দূষণ তুলনামূলকভাবে ছোট।
（7） রূপবিদ্যা পর্যবেক্ষণ করার সময়, নমুনা থেকে নির্গত অন্যান্য সংকেতগুলিও মাইক্রো জোন রচনা বিশ্লেষণের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি স্ক্যান করার কাঠামো এবং কাজের নীতি
（1） গঠন 1. মিরর টিউব
লেন্স ব্যারেলে একটি ইলেক্ট্রন বন্দুক, একটি কনডেন্সার, একটি উদ্দেশ্য এবং একটি স্ক্যানিং সিস্টেম রয়েছে। এর কাজ হল একটি খুব সূক্ষ্ম ইলেক্ট্রন বিম তৈরি করা (যার ব্যাস প্রায় কয়েক ন্যানোমিটার), এবং বিভিন্ন সংকেত উদ্দীপিত করার সময় নমুনার পৃষ্ঠে ইলেকট্রন বিম স্ক্যান করা।
2. ইলেকট্রনিক সংকেত সংগ্রহ এবং প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেম
নমুনা চেম্বারে, স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন রশ্মি নমুনার সাথে মিথস্ক্রিয়া করে সেকেন্ডারি ইলেকট্রন, ব্যাকস্ক্যাটারড ইলেকট্রন, এক্স-রে, শোষণ ইলেক্ট্রন, অগার ইলেকট্রন ইত্যাদি সহ বিভিন্ন ধরনের সংকেত তৈরি করে। উপরের সংকেতের মধ্যে সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ হল সেকেন্ডারি ইলেকট্রন, যা ঘটনা ইলেকট্রন দ্বারা উত্তেজিত নমুনা পরমাণুর বাইরের ইলেকট্রন, নমুনা পৃষ্ঠের নীচে কয়েক nm থেকে দশ nm এর এলাকায় উত্পন্ন হয় এবং এর উৎপাদন হার প্রধানত নমুনার আকারবিদ্যা এবং গঠনের উপর নির্ভর করে। সাধারণভাবে বলতে গেলে, স্ক্যানিং ইলেকট্রিক ইমেজটি সেকেন্ডারি ইলেকট্রন ইমেজকে বোঝায়, যা নমুনার পৃষ্ঠের রূপবিদ্যা অধ্যয়নের জন্য সবচেয়ে দরকারী ইলেকট্রনিক সংকেত। সেকেন্ডারি ইলেকট্রন (চিত্র 15 (2)) সনাক্ত করার জন্য ডিটেক্টরের প্রোবটি একটি সিন্টিলেটর। ইলেক্ট্রন যখন সিন্টিলেটরে আঘাত করে, তখন 1 এতে আলো উৎপন্ন করে। এই আলো ফটোকন্ডাক্টর দ্বারা ফটোমাল্টিপ্লায়ার টিউবে প্রেরণ করা হয় এবং অপটিক্যাল সিগন্যালটি কারেন্ট সিগন্যালে রূপান্তরিত হয়। পূর্ব পরিবর্ধন এবং ভিডিও পরিবর্ধনের পরে, বর্তমান সংকেত একটি ভোল্টেজ সংকেতে রূপান্তরিত হয় এবং অবশেষে পিকচার টিউবের গ্রিডে পাঠানো হয়।
